導讀:的作用就是從(cong) 真空室中抽除氣體(ti) 分子,降低真空室內(nei) 的氣體(ti) 壓力,使之達到要求的真空度。概括地講從(cong) 大氣到*真空有一個(ge) 很大的範圍,至今為(wei) 止還沒有一種真空係統能覆蓋這個(ge) 範圍。
因此,為(wei) 達到不同產(chan) 品的工藝指標、工作效率和設備工作壽命要求、不同的真空區段需要選擇不同的真空係統配置。為(wei) 達到*配置,選擇真空係統時,應考慮下述各點:
1、確定工作真空範圍
首先必須檢查確定每一種工藝要求的真空度。因為(wei) 每一種工藝都有其適應的真空度範圍,必須認真研究確定之。
2、確定極限真空度
在確定了工藝要求的真空度的基礎上檢查hth华体育app官係統的極限真空度,因為(wei) 係統的極限真空度決(jue) 定了係統的*工作真空度。
一般來講,係統的極限真空度比係統的工作真空度低20%,比前級泵的極限真空度低50%。
3、主hth华体育app官的選擇計算
s=2.303v/tlog(p1/p2)
其中:s為(wei) hth华体育app官抽氣速率、v為(wei) 真空室容積、t為(wei) 達到要求真空度所需時間、p1為(wei) 初始真空度、p2為(wei) 要求真空度。
4、真空容積
檢查確定達到要求的真空度所需要的時間、真空管道的流阻與(yu) 泄漏。
考慮達到要求真空度後在一定工藝要求條件下維持真空需要的抽氣速率。
5、被抽氣體(ti) 種類與(yu) 抽氣量
檢查確定工藝要求的抽氣種類與(yu) 抽氣量。因為(wei) 如果被抽氣體(ti) 種類與(yu) 泵內(nei) 液體(ti) 發生反應,泵係統將被汙染。同時必須考慮確定合適的排氣時間與(yu) 抽氣過程中產(chan) 生的氣體(ti) 量。
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